Menyediakan lingkungan eksperimental dengan vakum, atmosfer terkontrol, dan suhu tinggi.
Sistem pertumbuhan CVD ini cocok untuk proses CVD, seperti pelapisan silikon karbida, pengujian konduktivitas substrat keramik, pertumbuhan terkontrol struktur nano ZnO, dan eksperimen sintering atmosfer MLCC.
1. Tungku terbuat dari adsorpsi vakum serat mullite polikristalin, bidang suhu seragam dan hemat energi lebih dari 50%
2. Pengalihan udara dan teknologi insulasi panas memastikan masa pakai dan efek suhu konstan dari setiap komponen di dalam kotak
3. Nyalakan tungku listrik, dan kipas buang akan bekerja secara otomatis pada saat bersamaan. Setelah pengujian, kipas buang akan terus berjalan hingga suhu badan tungku lebih rendah dari 60 °C, dan kipas buang akan berhenti secara otomatis, yang secara efektif melindungi permukaan badan tungku.
4. Matikan otomatis, fungsi perlindungan suhu berlebih, fungsi perlindungan kebocoran untuk memastikan keamanan penggunaan
5. Sirkuit mengadopsi mode keluaran pemanasan terus menerus, catu daya sirkuit ganda, dan kabel terpisah dari arus kuat dan lemah meningkatkan stabilitas sistem
6. Modul pemanas mengadopsi sinyal DC untuk menyesuaikan daya keluaran, yang menghindari gangguan listrik yang diinduksi ke sinyal kontrol.
7. Kompensasi otomatis untuk efek kontrol suhu yang disebabkan oleh suhu atau penuaan pada perubahan nilai resistansi batang silikon karbida, menghindari ketidakakuratan dan bahaya penyesuaian buatan
8. Mengadopsi instrumen tampilan aliran digital, bekerja sama dengan pengontrol aliran massa, mengumpulkan data dan aliran kontrol. Ini memiliki karakteristik pengulangan yang baik, kecepatan respon yang cepat, stabilitas dan kehandalan. (Sistem Kontrol Aliran Massa Gas)
9. Kontrol otomatis dan fungsi pengalihan kontrol manual, mode kontrol otomatis dapat secara otomatis menghidupkan / mematikan pompa vakum melalui nilai yang ditetapkan untuk menjaga wadah dalam kisaran tekanan vakum tertentu. Mode kontrol manual menggunakan pengguna untuk mengoperasikan pompa vakum secara langsung melalui tombol on/off pompa vakum. untuk memenuhi kebutuhan percobaan yang berbeda. (Sistem kontrol vakum sedang)
10 Teknologi solenoid valve slow start, sehingga solenoid valve dibuka 10 detik setelah pompa vakum dihidupkan, sehingga tekanan sistem di tabung tungku tetap akurat, dan juga memastikan bahwa gas buang tidak akan kembali ke sistem tabung tungku untuk mempengaruhi efek eksperimental (sistem kontrol vakum menengah)
Model | CVD-LTF14P40 | CVD-LTF14P50 | CVD-LTF14P60 | CVD-LTF14P80 |
CVD-LTF14T40 | CVD-LTF14T50 | CVD-LTF14T60 | CVD-LTF14T80 | |
Kisaran suhu pengoperasian | 300~1400℃ | |||
Resolusi suhu | 1℃ | |||
Pengatur suhu | ± 1℃ | |||
Tingkat pemanasan | 0~20℃/menit | |||
Panjang zona pemanasan | 200mm | 400mm | ||
Panjang zona suhu konstan | 70mm | 140mm | ||
derajat vakum | -0.1MPa | |||
Waktu pemanasan tungku kosong | ≤15 menit | |||
Tingkat pemanasan saat mengkonfigurasi tabung tungku | Di bawah 500℃ ≤5℃/min；500-1000≤10℃/min；1000-1200≤5℃/min；1000-1400≤2℃/min | |||
Bagian luar | Lembaran baja canai dingin dengan lapisan tahan bahan kimia di permukaannya | |||
Tubuh tungku | Serat Mullite Polikristalin | |||
Ukuran tungku | 360*350*350mm | 560*350*350mm | ||
Tabung tungku | Tabung korundum | |||
Ukuran tabung tungku | Φ40/34*1000 | Φ50/44*1000 | Φ60/50*1000 | Φ80/70*1000 |
Pemanas | Batang silikon karbida | |||
Daya pemanas | 3KW | 5KW | ||
Lapisan isolasi termal | Pengalihan udara paksa berlapis ganda | |||
Buka jalan | Tidak | |||
Pengontrol | P: Tampilan digital kontrol suhu program yang diimpor; T: Kontrol suhu program layar sentuh berwarna 7 inci | |||
Metode kontrol | Menggunakan kontrol PID mikrokomputer | |||
Bagaimana mengatur | P: Sentuh lima tombol untuk tindakan, pengaturan tampilan digital; T: Sentuhan jari dan ketuk untuk mengatur | |||
Metode tampilan | P: Tampilan digital LED garis ganda; T: Layar LCD berwarna | |||
Pengaturan waktu | 0~999,9 jam | |||
Jalankan fungsi | Operasi nilai tetap, operasi program | |||
Modus program | P: Program berjalan, 4 kurva, total 40 langkah; T: 50 langkah dapat memanggil program tersimpan | |||
Sensor | Termokopel tipe S | |||
Fungsi bantu | P: Fungsi koreksi; T: Fungsi koreksi, perekaman kurva waktu nyata, ekspor data disk U | |||
Peralatan keselamatan | Sakelar perlindungan kebocoran arus lebih | |||
Jumlah jalur udara | 3 saluran (jumlah saluran udara dapat dipilih sesuai dengan kebutuhan spesifik) | |||
Rentang aliran | 0-0500sccm (standar ml/mnt, opsional) standar nitrogen | |||
Presisi | ±1%F.S | |||
Waktu merespon | ≤4 detik | |||
Temperatur pengoperasian (pengukur aliran) | 5-45 ℃ | |||
Tekanan pekerjaan | Tekanan saluran masuk 0,05-0,3MPa (tekanan pengukur) | |||
Koneksi sistem | Mengadopsi bellow koneksi cepat KF, katup flapper manual vakum tinggi dan alat pengukur vakum tampilan digital | |||
Rentang vakum sistem | 10-100 Pa | |||
Pompa vakum | Tingkat vakum pamungkas teoretis dari pompa mekanis dua tahap adalah 3x10-1Pa, laju pemompaan 4L / s, saluran keluar udara dilengkapi dengan filter oli, tegangan pengenal 200V, dan daya 0,55Kw | |||
Konfigurasi sistem CVD | Tungku tabung vakum 1400 derajat Sistem kontrol aliran massa multi-saluran Sistem vakum | |||
Kami memiliki bengkel produksi standar dan tim produksi yang lengkap. Mereka selalu menghasilkan sikap serius dan bertanggung jawab untuk menghasilkan setiap produk. Tim R&D kami terdiri dari insinyur profesional multi-aspek seperti insinyur desain, spesialis teknologi, spesialis berkualifikasi, dan manajer kontrol proses, dll. Spesialis berkualifikasi kami benar-benar mewujudkan pengawasan komprehensif proses berdasarkan sistem kontrol proses kualitas kami, yang berisi desain produk , penelitian dan pengembangan, pengujian, produksi, pemeriksaan kualitas, dan pengemasan.
Instrumen dan peralatan laboratorium kami digunakan di banyak laboratorium ilmiah, lembaga penelitian ilmiah, universitas, rumah sakit, pusat pengendalian penyakit dan lembaga lainnya, dan digabungkan dengan banyak biofarmasi terkenal, energi baru, perusahaan elektronik, pengolahan makanan, perlindungan lingkungan, dll. Kerjasama perusahaan, produk kami yang stabil dan andal diekspor ke lebih dari 120 negara di seluruh dunia, dan telah sangat diakui oleh mereka, percaya LABOAO, kami tumbuh bersama!
