Sistem CVD tanur tabung vakum/atmosfer 1600°C (CVD-TF) menyediakan lingkungan eksperimental dengan vakum, atmosfer yang dapat dikontrol, dan suhu tinggi, dan digunakan dalam semikonduktor, nanoteknologi, serat, dan bidang lainnya. Sistem pertumbuhan CVD ini cocok untuk proses CVD, seperti pelapisan silikon karbida, uji konduktivitas substrat keramik, pertumbuhan struktur nano ZnO yang dapat dikontrol, sintering atmosfer kapasitor keramik (MLCC) dan eksperimen lainnya.
1. Tungku terbuat dari adsorpsi vakum serat polikristalin mullite, bidang suhu seragam dan hemat energi lebih dari 50%
2. Pengalihan udara yang dikembangkan sendiri dan teknologi insulasi panas memastikan masa pakai dan efek suhu konstan dari setiap komponen di dalam kotak
3.Ketika tungku listrik dinyalakan, kipas angin akan secara otomatis bekerja pada saat yang bersamaan. Setelah pengujian, kipas buang akan terus berjalan hingga suhu badan tungku lebih rendah dari 60 °C, dan kipas buang akan berhenti secara otomatis, yang secara efektif melindungi permukaan badan tungku.
4. Pintu tungku dibuka dengan power-off otomatis, fungsi perlindungan suhu berlebih, dan fungsi perlindungan kebocoran untuk memastikan keamanan penggunaan.
5. Sirkuit mengadopsi mode keluaran pemanasan terus menerus, catu daya sirkuit ganda, dan kabel terpisah dari arus kuat dan lemah meningkatkan stabilitas sistem
6. Modul pemanas mengadopsi sinyal DC untuk menyesuaikan daya keluaran, yang menghindari gangguan listrik yang diinduksi ke sinyal kontrol.
7. Tombol logam bertegangan rendah digunakan untuk tombol operasi, dengan lampu indikator status, operasi yang aman dan intuitif.
8. Badan tungku atas dan bawah dihubungkan oleh colokan penerbangan, yang aman, andal, dan nyaman untuk dihubungkan.
9. Rakitan sirkuit gas terbuat dari baja tahan karat food grade 316, yang memiliki ketahanan korosi, ketahanan korosi atmosfer dan ketahanan suhu tinggi, dan non-magnetik.
10. Mengadopsi instrumen tampilan aliran digital, bekerja sama dengan pengontrol aliran massa, mengumpulkan data dan aliran kontrol. Ini memiliki karakteristik pengulangan yang baik, kecepatan respon yang cepat, stabilitas dan kehandalan. (Sistem Kontrol Aliran Massa Gas)
11. Kontrol otomatis dan fungsi pengalihan kontrol manual, mode kontrol otomatis dapat secara otomatis membuka/menutup pompa vakum melalui nilai yang ditetapkan, sehingga wadah dapat disimpan dalam kisaran tekanan vakum tertentu. Mode kontrol manual menggunakan pengguna untuk mengoperasikan pompa vakum secara langsung melalui tombol on/off pompa vakum. untuk memenuhi kebutuhan percobaan yang berbeda. (Sistem kontrol vakum sedang)
12. Teknologi start lambat katup solenoid membuat katup solenoida terbuka 10 detik setelah pompa vakum dihidupkan, sehingga tekanan sistem di tabung tungku tetap akurat, dan juga memastikan bahwa gas buang tidak akan kembali ke tungku sistem tabung untuk mempengaruhi efek eksperimental (sistem kontrol vakum sedang)
13.Alarm terlalu panas, kunci menu, pencegahan panas berlebih, penundaan pemulihan daya.
14.Menggunakan teknologi katup satu arah, aliran gas dikontrol dalam rentang tekanan yang dapat dikontrol untuk memastikan keamanan.
15. Perangkat tangki pencampur gas diadopsi, sehingga gas dapat dimasukkan ke ruang kerja setelah dicampur sepenuhnya untuk memastikan tidak bocor.
Model | CVD-LTF16P50 | CVD-LTF16P60 | CVD-LTF16P80 | CVD-LTF16P100 | CVD-LTF16P60S | CVD-LTF16P80S | CVD-LTF16P100S | |||
CVD-LTF16T50 | CVD-LTF16T60 | CVD-LTF16T80 | CVD-LTF16T100 | CVD-LTF16P60S | CVD-LTF16T80S | CVD-LTF16T100S | ||||
Kisaran suhu pengoperasian | 300~1600℃ | |||||||||
Resolusi suhu | 1℃ | |||||||||
Pengatur suhu | ± 1℃ | |||||||||
Tingkat pemanasan | 0~20℃/menit | |||||||||
Panjang zona pemanasan | 260mm | 600mm | ||||||||
Panjang zona suhu konstan | 120mm | 300mm | ||||||||
derajat vakum | -0.1MPa | |||||||||
Waktu pemanasan tungku kosong | ＜15 menit | |||||||||
Bagian luar | Lembaran baja canai dingin dengan lapisan tahan bahan kimia di permukaannya | |||||||||
Tubuh tungku | Serat Mullite Polikristalin | |||||||||
Ukuran tungku | 440*390*330 | 780*390*330 | ||||||||
Tabung tungku | Tabung Korundum | |||||||||
Ukuran tabung tungku | φ50*1000 | φ60*1000 | φ80*1000 | φ100*1000 | φ60*1200 | φ80*1200 | φ100*1200 | |||
Pemanas | Batang silikon molibdenum | |||||||||
Daya pemanas | 4KW | 4KW | 10KW | 10KW | ||||||
Lapisan isolasi termal | Pengalihan udara paksa berlapis ganda | |||||||||
Pengontrol | P: Tampilan digital kontrol suhu program yang diimpor; T: Kontrol suhu program layar sentuh berwarna 7 inci | |||||||||
Metode kontrol | Gunakan kontrol PID mikrokomputer / kontrol suhu terpisah zona suhu ganda tipe-S | |||||||||
Bagaimana mengatur | P: Sentuh lima tombol untuk tindakan, pengaturan tampilan digital; T: Sentuh jari untuk mengatur | |||||||||
Metode tampilan | P: Tampilan digital LED garis ganda; T: Layar LCD berwarna | |||||||||
Pengaturan waktu | 0~999,9 jam | |||||||||
Jalankan fungsi | Operasi nilai tetap, operasi program | |||||||||
Modus program | P: Program berjalan, 4 kurva, total 40 langkah; T: 50 langkah dapat memanggil program tersimpan | |||||||||
Sensor | Termokopel tipe S | |||||||||
Fungsi bantu | P: Fungsi koreksi; T: Fungsi koreksi, perekaman kurva waktu nyata, ekspor data disk U | |||||||||
Peralatan keselamatan | Sakelar perlindungan kebocoran arus lebih | Sakelar perlindungan arus lebih | ||||||||
Jumlah jalur udara | 3 saluran (jumlah saluran udara dapat dipilih sesuai dengan kebutuhan spesifik) | |||||||||
Rentang aliran | 0-0500sccm (standar ml/mnt, opsional) standar nitrogen | |||||||||
Presisi | ±1%F.S | |||||||||
Waktu merespon | ≤4 detik | |||||||||
Temperatur pengoperasian (pengukur aliran) | 5-45 ℃ | |||||||||
Tekanan pekerjaan | Tekanan saluran masuk 0,05-0,3MPa (tekanan pengukur) | |||||||||
Koneksi sistem | Mengadopsi bellow koneksi cepat KF, katup flapper manual vakum tinggi dan alat pengukur vakum tampilan digital | |||||||||
Rentang vakum sistem | 10-100 Pa | |||||||||
Pompa vakum | Tingkat vakum pamungkas teoretis dari pompa mekanis dua tahap adalah 3x10-1Pa, laju pemompaan 4L / s, saluran keluar udara dilengkapi dengan filter oli, tegangan pengenal 200V, dan daya 0,55Kw | |||||||||
Konfigurasi sistem CVD | Tungku tabung vakum 1600 derajat (opsional zona suhu tunggal, zona suhu ganda) Sistem kontrol aliran massa multi-saluran Sistem vakum | |||||||||
Kami memiliki bengkel produksi standar dan tim produksi yang lengkap. Mereka selalu menghasilkan sikap serius dan bertanggung jawab untuk menghasilkan setiap produk. Tim R&D kami terdiri dari insinyur profesional multi-aspek seperti insinyur desain, spesialis teknologi, spesialis berkualifikasi, dan manajer kontrol proses, dll. Spesialis berkualifikasi kami benar-benar mewujudkan pengawasan komprehensif proses berdasarkan sistem kontrol proses kualitas kami, yang berisi desain produk , penelitian dan pengembangan, pengujian, produksi, pemeriksaan kualitas, dan pengemasan.
Instrumen dan peralatan laboratorium kami digunakan di banyak laboratorium ilmiah, lembaga penelitian ilmiah, universitas, rumah sakit, pusat pengendalian penyakit dan lembaga lainnya, dan digabungkan dengan banyak biofarmasi terkenal, energi baru, perusahaan elektronik, pengolahan makanan, perlindungan lingkungan, dll. Kerjasama perusahaan, produk kami yang stabil dan andal diekspor ke lebih dari 120 negara di seluruh dunia, dan telah sangat diakui oleh mereka, percaya LABOAO, kami tumbuh bersama!
